当前位置: 首页 > 中国专利 > 中国发明专利 > CMOS器件应力膜的形成方法
CMOS器件应力膜的形成方法

CMOS器件应力膜的形成方法

prev next

  • 商品货号:INFOEACH_37
  • 商品品牌:中国发明专利
    商品重量:0克
  • 上架时间:2018-07-19
    商品点击数:5228
  • 用户评价: comment rank 5
  • 本店售价:请咨询客服
  • 点击此处进入论坛自助下载

资料描述

【申请号】: CN201010266056.3
【申请日】: 2010-08-19
【公开号】: CN102376645A
【公开日】: 2012-03-14
【申请人】: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
【地址】: 201203 上海市浦东新区张江路18号
【共同申请人】:
【发明人】: 韩秋华;黄敬勇
【国际申请】:
【国际公布】:
【进入国家日期】:
【专利代理机构】: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227
【代理人】: 骆苏华
【分案原申请号】:
【国省代码】: 31
【摘要】: 本发明提供的一种CMOS器件应力膜的形成方法,包括:提供半导体结构,其包括CMOS器件;在所述CMOS器件的表面形成具有拉伸应力的第一应力膜;采用光刻工艺,去除位于PMOS晶体管所在区域的第一应力膜;在所述PMOS晶体管以及第一应力膜的表面依次形成具有拉伸应力的第二应力膜以及硬掩模层;采用光刻工艺,去除位于PMOS晶体管所在区域的硬掩模层;以所述硬掩模层为掩模,刻蚀去除位于PMOS晶体管所在区域的第二应力膜。本发明改善了应力膜的均匀性,能够避免应力膜产生断裂或形成空洞的现象,并防止了硬掩模层被过消耗。
【主权项】: 一种CMOS器件应力膜的形成方法,其特征在于,包括:提供半导体结构,其包括CMOS器件;在所述CMOS器件的表面形成具有拉伸应力的第一应力膜;采用光刻工艺,去除位于PMOS晶体管所在区域的第一应力膜;在所述PMOS晶体管以及第一应力膜的表面依次形成具有拉伸应力的第二应力膜以及硬掩模层;采用光刻工艺,去除位于PMOS晶体管所在区域的硬掩模层;以所述硬掩模层为掩模,刻蚀去除位于PMOS晶体管所在区域的第二应力膜。
【页数】: 17
【主分类号】: H01L21/8238
【专利分类号】: H01L21/8238;H01L21/31

标签

相关资料

  • 控制硬盘电源的装置及方法

    【申请号】: CN201010247303.5
    【申请日】: 2010-08-06
    【公开号】: CN102375519A
    【公开日】: 2012-03-14
    【申请人】: 董建飞
    【地址】: 102208 北京市昌平区回龙观龙腾苑三区5号楼1单元401室
    【共同申请人】:
    【发明人】: 董建飞
    【国际申请】:
    【国际公布】:
    【进入国家日期】:
    【专利代理机构】:

  • 脉冲调节电路及方法

    【申请号】: CN201010250892.2
    【申请日】: 2010-08-11
    【公开号】: CN102375520A
    【公开日】: 2012-03-14
    【申请人】: 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
    【地址】: 518109 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号
    【共同申请人】:
    【发明人】: 洪祥睿;吴坤隆;李诣斌;赵永现;陈世涛
    【国际申请】:
    【国际公

  • 电脑系统

    【申请号】: CN201010253595.3
    【申请日】: 2010-08-12
    【公开号】: CN102375521A
    【公开日】: 2012-03-14
    【申请人】: 英业达股份有限公司
    【地址】: 中国台湾台北市士林区后港街六十六号
    【共同申请人】:
    【发明人】: 孔婷婷;范文纲
    【国际申请】:
    【国际公布】:
    【进入国家日期】:
    【专利代理机构】: 北京律诚同业知识

  • 手机网络二维码收银法

    【申请号】: CN201110202580.9
    【申请日】: 2011-07-18
    【公开号】: CN102376047A
    【公开日】: 2012-03-14
    【申请人】: 毛时敏;毛文芳
    【地址】: 350003 福建省福州市鼓楼区铜盘路409号19座101号
    【共同申请人】:
    【发明人】: 毛时敏;毛文芳
    【国际申请】:
    【国际公布】:
    【进入国家日期】:
    【专利代理机构

  • 利用点卡计费的信息处理系统

    【申请号】: CN201010265805.0
    【申请日】: 2010-08-26
    【公开号】: CN102376048A
    【公开日】: 2012-03-14
    【申请人】: 祝跃光
    【地址】: 200052 上海市静安区延安西路1118号2307室
    【共同申请人】:
    【发明人】: 祝跃光
    【国际申请】:
    【国际公布】:
    【进入国家日期】:
    【专利代理机构】: 上海汉声知识产权

  • 通过安全验证的手机确认支付系统及其相应方法

    【申请号】: CN201010265800.8
    【申请日】: 2010-08-27
    【公开号】: CN102376049A
    【公开日】: 2012-03-14
    【申请人】: 黄金富
    【地址】: 100035 北京市西城区桦皮厂胡同2号国际商会大厦16层
    【共同申请人】:
    【发明人】: 黄金富
    【国际申请】:
    【国际公布】:
    【进入国家日期】:
    【专利代理机构】:

  • 一种无电容型动态随机访问存储器结构及其制备方法

    【申请号】: CN201010251514.6
    【申请日】: 2010-08-11
    【公开号】: CN102376715A
    【公开日】: 2012-03-14
    【申请人】: 中国科学院微电子研究所
    【地址】: 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
    【共同申请人】:
    【发明人】: 霍宗亮;刘明
    【国际申请】:
    【国际公布】:
    【进入国家日期】:
    【专利代理机构】: 中科专利

  • 半导体装置和制造方法

    【申请号】: CN201110252935.5
    【申请日】: 2011-08-24
    【公开号】: CN102376716A
    【公开日】: 2012-03-14
    【申请人】: 台湾积体电路制造股份有限公司
    【地址】: 中国台湾新竹市
    【共同申请人】:
    【发明人】: 张美菁;许国原;陶昌雄
    【国际申请】:
    【国际公布】:
    【进入国家日期】:
    【专利代理机构】: 隆天国际知识产权代

  • 低电压操作的电可擦可编程只读存储器阵列

    【申请号】: CN201010249730.7
    【申请日】: 2010-08-05
    【公开号】: CN102376717A
    【公开日】: 2012-03-14
    【申请人】: 亿而得微电子股份有限公司
    【地址】: 中国台湾新竹县
    【共同申请人】:
    【发明人】: 林信章;戴家豪;叶仰森;杨明苍;范雅婷
    【国际申请】:
    【国际公布】:
    【进入国家日期】:
    【专利代理机构】: 北京科

  • 循环旋转显示图标的实现方法

    【申请号】: CN201010256238.2
    【申请日】: 2010-08-18
    【公开号】: CN102377867A
    【公开日】: 2012-03-14
    【申请人】: 希姆通信息技术(上海)有限公司
    【地址】: 200335 上海市长宁区金钟路633号
    【共同申请人】:
    【发明人】: 董泽
    【国际申请】:
    【国际公布】:
    【进入国家日期】:
    【专利代理机构】: 上海思微

  • 一种信息编辑模式切换方法

    【申请号】: CN201010260264.2
    【申请日】: 2010-08-19
    【公开号】: CN102377868A
    【公开日】: 2012-03-14
    【申请人】: 比亚迪股份有限公司
    【地址】: 518118 广东省深圳市坪山新区比亚迪路3009号
    【共同申请人】:
    【发明人】: 王浩文
    【国际申请】:
    【国际公布】:
    【进入国家日期】:
    【专利代理机构】:

  • 一种移动终端及通信方法

    【申请号】: CN201010261252.1
    【申请日】: 2010-08-23
    【公开号】: CN102377869A
    【公开日】: 2012-03-14
    【申请人】: 联想(北京)有限公司
    【地址】: 100085 北京市海淀区上地信息产业基地创业路6号
    【共同申请人】:
    【发明人】: 刘勇;宋春雨
    【国际申请】:
    【国际公布】:
    【进入国家日期】:
    【专利代理机构】:

  • 具有二极管于存储串行中的三维阵列存储器架构

    【申请号】: CN201110189096.7
    【申请日】: 2011-06-30
    【公开号】: CN102386188A
    【公开日】: 2012-03-21
    【申请人】: 旺宏电子股份有限公司
    【地址】: 中国台湾新竹科学工业园区力行路16号
    【共同申请人】:
    【发明人】: 洪俊雄;沈欣彰;吕函庭
    【国际申请】:
    【国际公布】:
    【进入国家日期】:
    【专利代理机构】: 中科

  • 半导体器件及其制造方法

    【申请号】: CN201110248114.4
    【申请日】: 2011-08-26
    【公开号】: CN102386189A
    【公开日】: 2012-03-21
    【申请人】: 海力士半导体有限公司
    【地址】: 韩国京畿道
    【共同申请人】:
    【发明人】: 郑永均
    【国际申请】:
    【国际公布】:
    【进入国家日期】:
    【专利代理机构】: 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 113

  • 半导体器件及用于形成半导体器件的图案的方法

    【申请号】: CN201110256601.5
    【申请日】: 2011-09-01
    【公开号】: CN102386190A
    【公开日】: 2012-03-21
    【申请人】: 三星电子株式会社
    【地址】: 韩国京畿道
    【共同申请人】:
    【发明人】: 梁松里;权五益;郑丞弼;金东贤;赵哄
    【国际申请】:
    【国际公布】:
    【进入国家日期】:
    【专利代理机构】: 北京市柳沈律师事务所

  • 无线WiFi医疗监护管理系统

    【申请号】: CN201110364231.7
    【申请日】: 2011-11-16
    【公开号】: CN102387217A
    【公开日】: 2012-03-21
    【申请人】: 乌维磊;索源明;郭晓宇;庞志翔
    【地址】: 315000 浙江省宁波市海曙区屠园巷13号603室
    【共同申请人】:
    【发明人】: 郭晓宇;索源明;乌维磊;庞志翔
    【国际申请】:
    【国际公布】:
    【进入国家日期】:

  • 一种计算机多机热备负载均衡系统

    【申请号】: CN201110376687.5
    【申请日】: 2011-11-24
    【公开号】: CN102387218A
    【公开日】: 2012-03-21
    【申请人】: 浪潮电子信息产业股份有限公司
    【地址】: 250014 山东省济南市高新区舜雅路1036号
    【共同申请人】:
    【发明人】: 贡维;林楷智;陈彦灵
    【国际申请】:
    【国际公布】:
    【进入国家日期】:
    【专利

  • 一种多网卡负载均衡系统和方法

    【申请号】: CN201110413597.9
    【申请日】: 2011-12-13
    【公开号】: CN102387219A
    【公开日】: 2012-03-21
    【申请人】: 曙光信息产业(北京)有限公司
    【地址】: 100084 北京市海淀区水磨西街64号
    【共同申请人】:
    【发明人】: 窦晓光;刘朝辉;刘兴彬;万伟;邵宗有
    【国际申请】:
    【国际公布】:
    【进入国家日期】:

  • 电子装置供电系统

    【申请号】: CN201010265251.4
    【申请日】: 2010-08-27
    【公开号】: CN102375522A
    【公开日】: 2012-03-14
    【申请人】: 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
    【地址】: 518109 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号
    【共同申请人】:
    【发明人】: 吕益中
    【国际申请】:
    【国际公布】:
    【进入国家

  • 监视系统、设备服务器、主计算机及监视方法

    【申请号】: CN201110240851.X
    【申请日】: 2011-08-17
    【公开号】: CN102375523A
    【公开日】: 2012-03-14
    【申请人】: 巴比禄股份有限公司
    【地址】: 日本爱知县
    【共同申请人】:
    【发明人】: 田村信弘
    【国际申请】:
    【国际公布】:
    【进入国家日期】:
    【专利代理机构】: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11